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Optimized electrode coverage of membrane actuators based on epitaxial PZT thin films

Structurae ne peut pas vous offrir cette publication en texte intégral pour l'instant. Le texte intégral est accessible chez l'éditeur. DOI: 10.1088/0964-1726/22/8/085013.
  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10217157
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
 
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