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One-step firing for electroded PZT thick films applied to MEMS

Auteur(s):



Médium: article de revue
Langue(s): anglais
Publié dans: Smart Materials and Structures, , n. 2, v. 24
Page(s): 025020
DOI: 10.1088/0964-1726/24/2/025020
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  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10225747
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
 
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