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  1. Boé, A. / Safi, A. / Coulombier, M. / Fabrègue, D. / Pardoen, T. / Raskin, J.-P. (2009): MEMS-based microstructures for nanomechanical characterization of thin films. Dans: Smart Materials and Structures, v. 18, n. 11 (novembre 2009).

    https://doi.org/10.1088/0964-1726/18/11/115018

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