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Review of modeling electrostatically actuated microelectromechanical systems

Auteur(s):


Médium: article de revue
Langue(s): anglais
Publié dans: Smart Materials and Structures, , n. 6, v. 16
Page(s): R23-R31
DOI: 10.1088/0964-1726/16/6/r01
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  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10223580
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
 
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